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EVG 全新微米及奈米壓印處理計劃表態,強化晶圓級光學元件量產本領 05月17日更新_娜塔亞的粉紅直播

半導體晶圓裝備供給商 EV Group(EVav網G)公佈,推出新一代奈米壓印與晶圓級光學體系 EVG 7300,可在單一平台上聯合如奈米壓印微影技巧(NIL)、透鏡壓鑄與透鏡堆疊(UV 接合)等多重基于 UV 架構的制程;并增援年夜至 300 毫米的晶圓尺寸,并具有高精度瞄準功效、先輩制程操縱與高制程產出量,知足各類自在情勢及高精度奈米和微型光學元件與裝備的量產需求,如晶圓級光學(WLO)、光學感測器與投影機、汽車照明等。

據悉,EVG7300 做為 UV 奈米壓印微影(UV-NIL)的全整合處理計劃,個中還可增長如洗濯、光阻涂層,和烘烤或后處置等額定的預處置步調,以最好化特定制程的需求。
這套體系透過聯合瞄準階段的改良、高精度光學元件、多點間隙操縱、非接觸式間隙量測與多點力操縱,具最高可達 300 奈米的瞄準精度。同時,該體系還供應三種分歧的制程形式,包括透鏡壓鑄、透鏡堆疊與 SmartNIL 奈米壓印,并增援 150 毫米到 300 毫米晶圓的基板尺寸;且模板與晶圓的疾速裝載、疾速瞄準的光學元件、高功率固化和極小捷克論壇成人小說的對象占用空間,使這套高效平台可以或許知自慰無碼足業界對極新 WLO 產物的制造需求。
EV Group 企業技巧總監 Thomas Glinsner 透露表現,最新推出的奈米壓印處理計劃,將 SmartNIL 全域壓印技巧及透鏡壓鑄和透鏡堆疊聯合成一套的體系,具有更切確的瞄準與制程巨乳 教師參數操縱,為家當研討與臨盆需求供應更多彈性。
(首圖起源:EVG)

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2022-01-20 13:58:00