技巧論壇時台積電誇大 3 奈米制程將照時程于 2022 下半年正式量產,競爭敵手韓國三星日前也透露表現,采用 GAA 架構的 3 奈米制程技巧正式流片(Tape Out),對環球只要這兩家能做到 5 奈米制程以下的半導體晶圓代工場來說,較勁意味濃郁。
外媒報導,三星 3 奈米制程流片進度是與新思科技(Synopsys)協作,加快為 GAA 架構的臨盆流程供應高度優化參考方式。因三星 3 奈米制程分歧于台積電或英特爾的 FinFET 架構,而是 GAA 架構,三星必要新計劃和認證對象,是以采用新思科技的 Fusion Design Platform。制程技巧的物理計劃套件(PDK)已在 2019 年 5 月揭櫫,并 2020 年經由過程制程技巧認證。估計此流程使三星 3 奈米 GAA 構造制程技巧用于高機能運算(HPC)、5G、舉措和高階人工智能(AI)利用芯片臨盆。
三星代工計劃技巧團隊副總裁 Sangyun Kim 透露表現,三星代工是推進下一階段家當立異的焦點。三星將借由賡續進展技巧制程,知足專業和普遍市場增進的需求。三星電子最新且先輩的 3 奈米 GAA 制程技巧,沾恩于與新思科技協作,Fusion Design Platform孟諾羽 加快預備,有用殺青 3 奈米制程技巧許諾,證實癥結聯盟的緊張性和長處。
新思科技數位計劃部總司理 Shankar Krishnamoorthy 也透露表現,GAA 晶體管構造象征著制程技巧提高的癥結轉捩點,對堅持下一波超年夜範圍立異所需的戰略相當緊張。新思科技與三星計謀協作支撐供應一流技巧息爭決計劃,確保進展趨向連續,和為半導體家當供應機遇。
GAA(Gate-all-around)架構是周邊圍繞著 Gate 的 FinFET 架構。照專家不雅點,GAA 架構的晶體管供應比 FinFET 更好的靜電特徵,可知足某些柵極寬度的需求。這重要表示在平等尺寸構造下,GAA 的溝道操縱本領強化,尺寸進一步微縮更有能夠性。相較傳統 FinFET 溝道僅 3 小早川 av面被柵極包覆,GAA 若以奈米線溝道計劃為例,溝道全部外輪廓都被柵極完整包裹,代表柵極對溝道的操縱性更好。
3 奈米 GAA 制程技巧有兩種架構,就是 3GAAE 和 3GAAP。這是兩款以奈米片的構造計劃,鰭中有多個橫向帶狀線。這類奈米片計劃已被研討機構 IMEC 看成 FinFET 架構后續產物停止大批研討,并由 IBM 與三星和格羅方德協作進展。三星指出,此技巧具高度可制造性,因應用約 90% FinFET 制造技巧與裝備,只需少許點竄的光罩即可。另精彩的柵極可控性,比三星本來 FinFET 技巧高 31%,且奈米片通道寬度可直接圖像化轉變,計劃更有靈巧性。
對台積電而言,GAAFET(Gate-all-around FETs)還是將來進展線路。N3 技巧節點,尤其多是 N2 節點應用 GAA 架構。現在正停止先輩資料和晶體管構造的先導研討形式,另先輩 CMOS 研討,台積電 3 奈米和 2 奈米 CMOS 節點順遂停止中。台積電還增強先導性研發任務,重點放在 2 奈米之外節點,和 3D 晶體管、新內存、low-R interconnect 等範疇,無望為很多技巧平台奠基臨盆基本。台積電正在擴展 Fab 12 的研發本領,現在 Fab 12 正在研討開闢 N3、N2 乃至更高階制程節點。
(首圖起源:Flickr/DennisM2 CC BY 2.0)
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2021-06-30 06:08:00